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文献
J-GLOBAL ID：200902278765579635
整理番号：07A0370085
カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマービーム構造の作製と評価
HUANG Y-M
(大阪大)
,
山下馨
(大阪大)
,
寒川雅之
(大阪大)
,
金島岳
(大阪大)
,
野田実
(大阪大)
,
奥山雅則
(大阪大)
,
野間春生
(ATR)
資料名：
電気学会全国大会講演論文集
(Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
巻： 2007 号： 3 ページ： 213 発行年： 2007年03月15日
JST資料番号： S0653A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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