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文献
J-GLOBAL ID：200902299421985356
整理番号：09A0421226
スパッタ法により作製したTaドープSnO2薄膜の電気特性と熱物性の解析
山田沙織
(青山学院大 理工)
,
木村健太郎
(青山学院大 理工)
,
岡部隆志
(青山学院大 理工)
,
八木貴志
(産業技術総合研)
,
竹歳尚之
(産業技術総合研)
,
馬場哲也
(産業技術総合研)
,
岡伸人
(青山学院大 理工)
,
佐藤泰史
(青山学院大 理工)
,
重里有三
(青山学院大 理工)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 56th 号： 1 ページ： 545 発行年： 2009年03月30日
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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