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文献
J-GLOBAL ID：201102242890174870
整理番号：11A0791551
高κ誘電体HfO2に埋込んだ珪素ナノ結晶の形成と電荷蓄積へのその応用
Formation of silicon nanocrystals embedded in high-κ dielectric HfO2 and their application for charge storage
LI Weilong
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
JIA Rui
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
CHEN Chen
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
LI Haofeng
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
LIU Xinyu
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
YUE Huihui
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
DING Wuchang
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
YE Tianchun
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ...)
,
KASAI Seiya
(Res. Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido Univ., North 13, West 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
,
HASHIZUME Tamotsu
(Res. Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido Univ., North 13, West 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
,
WU Nanjian
(The State Key Lab. for Superlattices and Microstructures, Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences ...)
,
XU Bingshe
(Coll. of Materials Sci. and Engineering, Taiyuan Univ. of Technol., Taiyuan 030024, CHN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 29 号： 2 ページ： 021018 発行年： 2011年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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