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文献
J-GLOBAL ID：201102289348501437
整理番号：11A1908738
焼なましした非晶質Ta2O5皮膜におけるナノポアの自己伸張成長
Self-elongated growth of nanopores in annealed amorphous Ta2O5 films
NAKAMURA R.
(The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN)
,
TANAKA K.
(The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN)
,
ISHIMARU M.
(The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN)
,
SATO K.
(Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, JPN)
,
KONNO T.j.
(Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Katahira 2-1-1, Sendai 980-8577, JPN)
,
NAKAJIMA H.
(The Inst. of Scientific and Industrial Res., Osaka Univ., Mihogaoka 8-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN)
資料名：
Scripta Materialia
(Scripta Materialia)
巻： 66 号： 3-4 ページ： 182-185 発行年： 2012年02月
JST資料番号： B0915A ISSN： 1359-6462 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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