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文献
J-GLOBAL ID：201202235839104884
整理番号：12A1486563
中性子集光用回転楕円ミラーの作製 第IV報-小径球面パッドを用いた形状修正研磨における体積加工速度の安定化-
山崎健太
(大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
,
永野幹典
(大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
,
光嶋直樹
(大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
,
山村和也
(大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
,
丸山龍治
(日本原子力開発機構 J-PARCセ)
,
林田洋寿
(日本原子力開発機構 J-PARCセ)
,
山崎大
(日本原子力開発機構 J-PARCセ)
,
曽山和彦
(日本原子力開発機構 J-PARCセ)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012 号： 秋季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.F07 発行年： 2012年09月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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