文献
J-GLOBAL ID:201302217349042375
整理番号:13A0916735
172nm真空紫外光照射による選択性エッチングを通じて製作された六角形配列ナノ空孔薄膜
HEXAGONALLY ARRANGED NANOPORE FILM FABRICATED VIA SELECTIVE ETCHING BY 172-nm VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION
著者 (4件):
KOMURA Motonori
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
KAMATA Kaori
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
IYODA Tomokazu
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
NAGAI Keiji
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名:
Fusion Science and Technology
(Fusion Science and Technology)
巻:
63
号:
2
ページ:
257-264
発行年:
2013年03月
JST資料番号:
A0310B
ISSN:
1536-1055
CODEN:
FUSTE8
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)