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文献
J-GLOBAL ID:201302225472087220   整理番号:13A0853640

太陽電池用のO3に基づくバッチ原子層堆積AlOxのc-Si表面不動態化機構の詳細な研究

Detailed Study on the c-Si Surface Passivation Mechanism of O3-Based Batch Atomic Layer Deposited AlOx for Solar Cell Applications
著者 (19件):
LEE Hyunju
(Meiji Univ.)
LEE Hyunju
(JST-CREST)
TACHIBANA Tomihisa
(Meiji Univ.)
TACHIBANA Tomihisa
(JST-CREST)
IKENO Norihiro
(Meiji Univ.)
IKENO Norihiro
(JST-CREST)
HASHIGUCHI Hiroki
(Meiji Univ.)
HASHIGUCHI Hiroki
(JST-CREST)
TSUCHIYA Yuki
(Meiji Univ.)
TSUCHIYA Yuki
(JST-CREST)
ARAFUNE Koji
(Univ. of Hyogo)
ARAFUNE Koji
(JST-CREST)
YOSHIDA Haruhiko
(Univ. of Hyogo)
YOSHIDA Haruhiko
(JST-CREST)
SATOH Shin-ichi
(Univ. of Hyogo)
SATOH Shin-ichi
(JST-CREST)
CHIKYOW Toyohiro
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS))
OGURA Atsushi
(Meiji Univ.)
OGURA Atsushi
(JST-CREST)

資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻: 60th  ページ: ROMBUNNO.29P-PA9-11  発行年: 2013年03月11日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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