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文献
J-GLOBAL ID：201402255971509171
整理番号：14A1326643
薄膜Si上に形成したMEMS可変メタマテリアルにおけるフレームの影響
磯崎瑛宏
(東大)
,
菅哲朗
(東大)
,
高橋英俊
(東大)
,
松本潔
(東大)
,
下山勲
(東大)
資料名：
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 31st ページ： ROMBUNNO.21PM3-PS104 発行年： 2014年
JST資料番号： X0768B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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