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文献
J-GLOBAL ID：201402276414683220
整理番号：14A1098981
高温スパッタリング法におけるMoS2薄膜化と電気特性
大橋匠
(東京工大)
,
山口晋平
(東京工大)
,
松浦賢太朗
(東京工大)
,
須田耕平
(明治大)
,
石原聖也
(明治大)
,
澤本直美
(明治大)
,
角嶋邦之
(東京工大)
,
杉井信之
(東京工大)
,
西山彰
(東京工大)
,
片岡好則
(東京工大)
,
名取研二
(東京工大)
,
筒井一生
(東京工大)
,
岩井洋
(東京工大)
,
小椋厚志
(明治大)
,
若林整
(東京工大)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 75th ページ： ROMBUNNO.18P-A16-14 発行年： 2014年09月01日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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