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文献
J-GLOBAL ID：201502254453408575
整理番号：15A0468305
Si,Ti添加DLC膜表面酸化反応における原子状酸素衝突エネルギーの影響
渡邉大樹
(神戸大 大学院工学研究科)
,
初田光嶺
(神戸大 大学院工学研究科)
,
古山雄一
(神戸大 大学院海事科学研究科)
,
神田一浩
(兵庫県大 高度産科技研)
,
吉越章隆
(日本原子力研究開発機構)
,
寺岡有殿
(日本原子力研究開発機構)
,
横田久美子
(神戸大 大学院工学研究科)
,
田川雅人
(神戸大 大学院工学研究科)
資料名：
宇宙航空研究開発機構特別資料 JAXA-SP-
(JAXA Special Publication)
号： 14-012 ページ： 95-99 発行年： 2015年03月20日
JST資料番号： S0762C ISSN： 1349-113X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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