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文献
J-GLOBAL ID：201502267397105135
整理番号：15A0508873
Al2O3/Ge構造に対する熱酸化にともなうGe表面からのGe原子放出過程
柴山茂久
(名大 院)
,
柴山茂久
(日本学術振興会)
,
中嶋薫
(京大 大学院)
,
坂下満男
(名大 院)
,
中塚理
(名大 院)
,
木村健二
(京大 大学院)
,
財満鎭明
(名大 院)
,
財満鎭明
(名古屋大)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd ページ： ROMBUNNO.14A-A24-5 発行年： 2015年02月26日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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