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文献
J-GLOBAL ID：201602204326495583
整理番号：16A0006612
マイクロステージ用変位センサに関する研究
東豊大
(東北大)
,
丹羽英二
(電磁材料研)
,
PENG Yuxin
(東北大)
,
金子純史
(東北大)
,
清水裕樹
(東北大)
,
伊東聡
(東北大)
,
GAO Wei
(東北大)
資料名：
日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集
(日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
巻： 47th ページ： 188-189 発行年： 2012年03月13日
JST資料番号： L0012A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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