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文献
J-GLOBAL ID：201602205202409790
整理番号：16A0286707
極低測定力触針式変位センサの開発-センサの設計と性能評価-
大澤慎一
(東北大)
,
関根匠
(東北大)
,
伊東聡
(東北大)
,
清水裕樹
(東北大)
,
GAO Wei
(東北大)
,
久保田晃史
(MMCリョウテック)
,
加藤明
(MMCリョウテック)
,
荒川訓明
(MMCリョウテック)
,
安竹睦実
(MMCリョウテック)
資料名：
日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集
(日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
巻： 48th ページ： 186-187 発行年： 2013年03月15日
JST資料番号： L0012A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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