文献
J-GLOBAL ID:201702216572138110
整理番号:17A0182163
三角形増幅器機構に基づいた新しい2D圧電ナノ位置決めステージ【Powered by NICT】
A novel 2D piezo-nanopositioning stage based on triangle amplifier mechanism
著者 (3件):
Liu Xue-rui
(State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures, Nanjing University of Aeronautics & Astronautics, Nanjing, 210016, China)
,
Huang Wei-qing
(State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures, Nanjing University of Aeronautics & Astronautics, Nanjing, 210016, China)
,
Wang Yin
(College of Mechanical Engineering and Automation, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
SPAWDA
ページ:
314-318
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)