文献
J-GLOBAL ID:201702217151786466
整理番号:17A0056776
MW-ECRプラズマ反応器におけるSchottkyダイオード水素化における効果的なりんの不活性化【Powered by NICT】
Effective phosphorus deactivation in schottky diodes hydrogenated in MW-ECR plasma reactor
著者 (3件):
Belfennache D.
(Laboratory of materials study faculty of the sciences University of Jijel Algeria. Jijel University BP98, Oueld Aissa, Jijel, Algeria)
,
Brihi N.
(Laboratory of materials study faculty of the sciences University of Jijel, Algeria. Jijel University BP98, Oueld Aissa, Jijel, Algeria)
,
Madi D.
(Physics Department Bouira University BP1000 Rue de l’Indipendance, Bouira, Algeria)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ICMIC
ページ:
497-502
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)