文献
J-GLOBAL ID:201702225353682641
整理番号:17A0057456
MEMS容量性スイッチにおける誘電体帯電持続的信頼性問題,可給態モデルと評価法【Powered by NICT】
Dielectric charging in MEMS capacitive switches a persisting reliability issue, available models and assessment methods
著者 (4件):
Koutsoureli M.
(Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece)
,
Birbiliotis D.
(Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece)
,
Michalas L.
(Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece)
,
Papaioannou G.
(Solid State Physics Section, Physics Dpt., University of Athens, Athens 15784, Greece)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
MMS
ページ:
1-4
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)