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文献
J-GLOBAL ID：201702230472538290
整理番号：17A1140908
積層DLC/N-DLC膜の電気抵抗率および摩擦係数
飯島佑史
(豊橋技科大)
,
磯野凌
(豊橋技科大)
,
出貝敏
(豊橋技科大)
,
針谷達
(豊橋技科大)
,
谷本壮
(豊橋技科大)
,
須田善行
(豊橋技科大)
,
滝川浩史
(豊橋技科大)
,
安井治之
(石川工試)
,
金子智
(神奈川県産総研)
,
國次真輔
(岡山県工技セ)
,
神谷雅男
(伊藤光学)
,
瀧真
(オンワード技研)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th ページ： ROMBUNNO.7p-A412-7 発行年： 2017年08月25日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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