文献
J-GLOBAL ID:201702235652710328
整理番号:17A0793058
インジウム亜鉛酸化物膜蒸着用ポリカーボネート基板のプラズマ前処理【Powered by NICT】
Plasma pretreatment of polycarbonate substrates for indium zinc oxide film deposition
著者 (6件):
Zhang Xuan
(Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, China)
,
Lang Jianlin
(Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, China)
,
Yan Yue
(Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, China)
,
Zhang Xiaofeng
(Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, China)
,
Zhong Yanli
(Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, China)
,
Li Lei
(Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, China)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
49
号:
5
ページ:
376-383
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)