文献
J-GLOBAL ID:201702241379512973
整理番号:17A0884446
ニッケルモノシリサイドの窒素増強された熱安定性【Powered by NICT】
Nitrogen enhanced thermal stability of nickel monosilicide
著者 (3件):
Zuruzi A. S.
(Faculty of Engineering, Universiti Teknologi Brunei, Jalan Tungku Link, Gadong, BE1410, Brunei Darussalam)
,
Chi D. Z.
(Institute of Materials Research and Engineering, Agency for Science, Technology and Research, 3 Research link, Singapore, 117602, Singapore)
,
Mangelinck D.
(Faculte de saint Jerome, Institut Materiaux Microelectronique Nanosciences de Provence (IM2NP), CNRS UMR 7334, Case 151, 13397, Marseille Cedex 20, France)
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻:
214
号:
5
ページ:
ROMBUNNO.201600710
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
1862-6300
CODEN:
PSSABA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)