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文献
J-GLOBAL ID：201702241379512973
整理番号：17A0884446
ニッケルモノシリサイドの窒素増強された熱安定性【Powered by NICT】
Nitrogen enhanced thermal stability of nickel monosilicide
Zuruzi A. S.
(Faculty of Engineering, Universiti Teknologi Brunei, Jalan Tungku Link, Gadong, BE1410, Brunei Darussalam)
,
Chi D. Z.
(Institute of Materials Research and Engineering, Agency for Science, Technology and Research, 3 Research link, Singapore, 117602, Singapore)
,
Mangelinck D.
(Faculte de saint Jerome, Institut Materiaux Microelectronique Nanosciences de Provence (IM2NP), CNRS UMR 7334, Case 151, 13397, Marseille Cedex 20, France)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214 号： 5 ページ： ROMBUNNO.201600710 発行年： 2017年
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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