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文献
J-GLOBAL ID：201702249222351837
整理番号：17A0863888
液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成
Fabrication of embedded micro channel and nozzle for liquid delivering dual silicon AFM probe
HONG Jinseo
(豊橋技科大)
,
増田雄介
(豊橋技科大)
,
三浦嘉隆
(豊橋技科大)
,
柴田隆行
(豊橋技科大)
,
峯田貴
(山形大)
資料名：
電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： MSS-17 号： 1-2.5-9 ページ： 15-16 発行年： 2017年06月29日
JST資料番号： L2898B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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