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文献
J-GLOBAL ID：201702264653031252
整理番号：17A0855345
鋭い界面の深さプロフィリングにおける深さ分解能と選択的スパッタリング【Powered by NICT】
Depth resolution and preferential sputtering in depth profiling of sharp interfaces
Hofmann S.
(Max Planck Institute for Intelligent Systems (formerly MPI for Metals Research), Heisenbergstrasse 3, D-70569 Stuttgart, Germany)
,
Han Y.S.
(Department of Physics, Shantou University, 243 Daxue Road, Shantou, 515063 Guangdong, China)
,
Wang J.Y.
(Department of Physics, Shantou University, 243 Daxue Road, Shantou, 515063 Guangdong, China)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 410 ページ： 354-362 発行年： 2017年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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