文献
J-GLOBAL ID:201802285933189065
整理番号:18A0551645
液体が関与するプラズマ材料プロセシング
Plasma Materials Processing Involving Liquid
著者 (2件):
白藤立
(大阪市立大学大学院工学研究科電子情報系専攻)
,
白藤立
(東京理科大学総合研究院ウォーターフロンティアサイエンス&テクノロジー研究センター)
資料名:
表面と真空
(Vacuum and Surface Science)
巻:
61
号:
3
ページ:
119-130(J-STAGE)
発行年:
2018年
JST資料番号:
G0194B
ISSN:
2433-5835
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)