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文献
J-GLOBAL ID：202102216051734819
整理番号：21A0697127
AlGaN/GaN HEMTデバイスにおける局所圧電格子変形の放射光ナノビームX線回折オペランド計測
Operand observation of local piezoelectric lattice deformation in AlGaN/GaN HEMT devices by synchrotron radiation nanobeam X-ray diffraction
嶋田章宏
(大阪大 大学院)
,
塩見春奈
(大阪大 大学院)
,
藤平哲也
(大阪大 大学院)
,
林侑介
(大阪大 大学院)
,
金木奨太
(北大 量子集積エレクトロニクス研究セ)
,
橋詰保
(北大 量子集積エレクトロニクス研究セ)
,
今井康彦
(JASRI)
,
隅谷和嗣
(JASRI)
,
木村滋
(JASRI)
,
酒井朗
(大阪大 大学院)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 81st ページ： ROMBUNNO.10p-Z04-10 発行年： 2020年08月26日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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