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J-GLOBAL ID：200902149044366229   整理番号：94A0493520

化合物半導体表面微細構造の溶液中AFMによる評価 (4)

AFM Characterization of Compound Semiconductor Surface Micro-morphology in solution. (4).

著者 (5件)： 石川靖彦 (北大) ,  後藤修 (北大) ,  葛西誠也 (北大) ,  福井孝志 (北大) ,  長谷川英機 (北大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 41st  号： Pt 3  ページ： 1216  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： 化合物半導体 ,  表面微細構造 ,  溶液 ,  AFM ,  評価