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J-GLOBAL ID：200902192995275781   整理番号：01A0119757

平坦化多結晶ダイヤモンドMISFETの特性改善

著者 (7件)： 藤原直樹 (早稲田大 理工) ,  石坂博明 (早稲田大 理工) ,  谷内寛直 (早稲田大 理工) ,  有馬拓也 (早稲田大 理工) ,  梅沢仁 (早稲田大 理工) ,  立木実 (早稲田大 理工) ,  川原田洋 (早稲田大 理工)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 14th  ページ： 174-175  発行年： 2000年11月30日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 平坦化 ,  多結晶ダイヤモンド ,  MISFET ,  特性改善