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J-GLOBAL ID：200902204105920349   整理番号：08A0838721

ヘルムホルツ共鳴を利用したマイクロ超音波センサ

A Micro Ultrasonic Wave Sensor Using Helmholtz Resonance

著者 (5件)： 鈴木明 (東大) ,  高橋英俊 (東大) ,  岩瀬英治 (東大) ,  松本潔 (東大) ,  下山勲 (東大)
資料名： 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会予稿集(CD-ROM))
巻： 2008  ページ： ROMBUNNO.1P1-H08  発行年： 2008年06月05日 
JST資料番号： L0318B  ISSN： 2424-3124  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究ではヘルムホルツ共鳴を利用することによってマイクロ超音波センサの感度を向上させる手法を提案する。この手法によってヘルムホルツ共鳴器をピエゾ抵抗カンチレバー型センサに組み合わせることでセンサ感度の23.8[dB]の向上,すなわちカンチレバーの振幅を15.5倍とすることに成功した。また共鳴周波数が可変であるヘルムホルツ共鳴器を利用し,共鳴周波数とカンチレバーの固有振動数との間にずれを発生させた場合のセンサ感度の振る舞いを計測する二つの実験を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *センサ ,  *音波センサ ,  *共鳴 ,  利用 ,  感度 ,  片持梁 ,  振幅 ,  周波数 ,  可変性 ,  固有振動数 ,  間隙 ,  発生 ,  挙動 ,  *計測 ,  実験 ,  *マイクロセンサ ,  *超音波センサ ,  *圧電抵抗
準シソーラス用語： カンチレバー ,  ずれ ,  *ピエゾ抵抗 ,  可変 ,  向上 ,  振舞い ,  非接触センサ ,  *ヘルムホルツ共鳴

分類 (3件)： 音響測定  (BB03040R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共鳴 ,  マイクロ ,  超音波センサ