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J-GLOBAL ID：200902209437125366   整理番号：08A0463128

架橋PTFEの集束イオンビームによる微細加工とその高機能化に関する研究

著者 (7件)： 高澤侑也 ,  福武直之 ,  裏川達也 ,  大島明博 ,  鷲尾方一 ,  岡本一将 ,  田川精一
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 88th  号： 1  ページ： 687  発行年： 2008年03月12日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フッ素系の樹脂であるPTFEは優れた耐熱・耐薬品性等の優れた特性から様々な産業分野への応用がなされている。近年,耐摩擦性,耐放射線性に優れた架橋PTFEが開発され,その新たな応用として微細加工品の作成を放射光(SR)と集束イオンビーム(FIB)を用いて行なってきた。そこで本研究では,微細加工品の高機能化を目的に,放射線グラフトによる機能性付与を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリテトラフルオロエチレン ,  集束イオンビーム ,  *微細加工 ,  *グラフト共重合 ,  電子照射 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  芳香族炭化水素 ,  ビニル化合物
準シソーラス用語： *架橋PTFE ,  高機能化 ,  *グラフト重合 ,  SEM【顕微鏡】

分類 (2件)： 共重合  (CG04030D) ,  放射線高分子化学  (CG03050S)

物質索引 (1件)： スチレン

タイトルに関連する用語 (6件)： 架橋 ,  PTFE ,  集束イオンビーム ,  微細加工 ,  高機能化 ,  研究