クリーンルーム構成材料のアウトガス評価法-CR-ADPACシステム-

文献

J-GLOBAL ID：200902214178827261 整理番号：03A0429215

Evaluation Method of Outgassing from Cleanroom Material-CR-ADPAC System-

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資料名：
巻： 21st ページ： 52-54 発行年： 2003年04月15日
JST資料番号： Y0789A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

実際のCRと同一の温度,湿度,換気回数,表面流速でのアウトガ...

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空気浄化 , 集積回路一般

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