液相法によるHigh-k HfO<sub>2</sub>超薄膜の作成

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J-GLOBAL ID：200902215180038947 整理番号：04A0344277

液相法によるHigh-k HfO₂超薄膜の作成

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資料名：
巻： 51st 号： 2 ページ： 880 発行年： 2004年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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酸化物薄膜

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