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J-GLOBAL ID：200902215864384089   整理番号：08A1038436

放射光STMを用いたナノスケール表面分析-複数の系への適用と,諸特性の評価-

著者 (19件)： 齋藤彰 (大阪大 大学院) ,  齋藤彰 (理研/SPring-8) ,  齋藤彰 (JST-PRESTO) ,  高木康多 (岡崎国立共同研究機構 分子科研) ,  細川博正 (大阪大 大学院) ,  細川博正 (理研/SPring-8) ,  田中武拓 (大阪大 大学院) ,  田中武拓 (理研/SPring-8) ,  高橋浩史 (大阪大 大学院) ,  赤井恵 (大阪大 大学院) ,  赤井恵 (JST-PRESTO) ,  田中義人 (理研/SPring-8) ,  石川哲也 (理研/SPring-8) ,  辛埴 (理研/SPring-8) ,  桑原裕司 (大阪大 大学院) ,  桑原裕司 (理研/SPring-8) ,  桑原裕司 (JST-ICORP) ,  青野正和 (JST-ICORP) ,  青野正和 (物材機構 WPIC)
資料名： 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集  (日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム)
巻： 21st  ページ： 59  発行年： 2007年12月20日 
JST資料番号： L1310A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： シンクロトロン放射 ,  *表面分析 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  ナノ構造 ,  *ゲルマニウム ,  ヘテロ接合 ,  *表面構造 ,  *X線マイクロビーム ,  シリコンウエハ ,  *構造
準シソーラス用語： ケイ素基板

分類 (1件)： 半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 放射光 ,  STM ,  ナノスケール ,  表面分析 ,  系 ,  評価