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J-GLOBAL ID：200902219583060875   整理番号：06A0277162

ミクロンサイズ薄膜の熱膨張測定の試み

著者 (4件)： 三浦誠司 (北大 大学院工学研究科) ,  岡和彦 (北大 大学院工学研究科) ,  大久保賢二 (北大 大学院工学研究科) ,  毛利哲雄 (北大 大学院工学研究科)
資料名： 日本金属学会講演概要  (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
巻： 138th  ページ： 469  発行年： 2006年03月21日 
JST資料番号： S0988A  ISSN： 1342-5730  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超薄膜 ,...
準シソーラス用語： ミクロ構造 ,...

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分類 (1件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミクロンサイズ ,  薄膜 ,  熱膨張測定 ,  試み