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J-GLOBAL ID：200902251199456819   整理番号：08A1081580

集束イオンビームを用いたフッ素系高分子のナノ加工

著者 (8件)： 福武直之 (早大 理工研) ,  高澤侑也 (早大 理工研) ,  五輪智子 (早大 理工研) ,  裏川達也 (早大 理工研) ,  鷲尾方一 (早大 理工研) ,  大島明博 (大阪大 産科研) ,  岡本一将 (大阪大 産科研) ,  田川精一 (大阪大 産科研)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 51st  ページ： 73-74  発行年： 2008年10月15日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 微細加工 ,  *イオンビーム加工 ,  集束イオンビーム ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  FEP樹脂 ,  高分子薄膜 ,  エッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ハロゲン含有重合体  (YH07100Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集束イオンビーム ,  フッ素系高分子 ,  ナノ加工