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J-GLOBAL ID：200902254985105891   整理番号：07A1013663

蒸気と水の混合噴流によるレジスト剥離

著者 (6件)： 真田俊之 (静岡大) ,  齋藤隆之 (静岡大) ,  城田農 (産業技術総合研) ,  渡部正夫 (九大 大学院) ,  森田整尚 (アクアサイエンス) ,  山瀬雅男 (アクアサイエンス)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 2  ページ： 792  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レジスト ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 蒸気 ,  水 ,  噴流 ,  レジスト