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J-GLOBAL ID：200902262428719871   整理番号：08A0718097

集束イオンビームによる架橋PTFEのナノスケール微細パターンの作成

著者 (10件)： 福武直之 (早稲田大) ,  裏川達也 (早稲田大) ,  高澤侑也 (早稲田大) ,  三好のぞみ (早稲田大) ,  大島明博 (早稲田大) ,  鷲尾方一 (早稲田大) ,  岡本一将 (大阪大 産科研) ,  松井良憲 (大阪大 産科研) ,  関修平 (大阪大 産科研) ,  田川精一 (大阪大 産科研)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 57  号： 1 Disk1  ページ： 3PA143  発行年： 2008年05月08日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ポリテトラフルオロエチレン ,  *高分子薄膜 ,  *ナノメータ加工 ,  集束イオンビーム ,  架橋【高分子】 ,  微細構造 ,  パターン形成 ,  電子照射 ,  スピンコーティング ,  薄膜成長 ,  寸法精度 ,  アスペクト比 ,  エッチング ,  超小形回路技術 ,  加工精度
準シソーラス用語： 工作精度 ,  PTFE

分類 (2件)： ハロゲン含有重合体  (YH07100Z) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集束イオンビーム ,  架橋 ,  PTFE ,  ナノスケール ,  微細パターン