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J-GLOBAL ID：200902280388054993   整理番号：09A1134517

散乱光分布を利用した半導体ウエハ上欠陥種分類手法

著者 (6件)： 杉原慶彦 (北大 大学院情報科学研究科) ,  本田敏文 (日立 生産技研) ,  浦野雄太 (日立 生産技研) ,  渡辺正浩 (北大 大学院情報科学研究科) ,  野口聡 (北大 大学院情報科学研究科) ,  五十嵐一 (北大 大学院情報科学研究科)
資料名： 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (Joint Convention Record, the Hokkaido Chapters of the Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan (CD-ROM))
巻： 2009  ページ： ROMBUNNO.14  発行年： 2009年10月17日 
JST資料番号： L1739B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *散乱光 ,  分布 ,  半導体 ,  *ウエハ【IC】 ,  *欠陥検査 ,  レーザ
準シソーラス用語： 分類方法

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 散乱光 ,  分布 ,  半導体ウエハ ,  欠陥 ,  分類 ,  手法