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J-GLOBAL ID：200902287656457251   整理番号：08A0169479

軟X線顕微鏡の開発に向けた化学増幅型フォトレジストの評価

著者 (11件)： 五輪智子 (早稲田大 理工研) ,  五十嵐千明 (早稲田大 理工研) ,  丑田公規 (理研) ,  大島明博 (早稲田大 理工研) ,  樫野多加志 (早稲田大 理工研) ,  柏木茂 (大阪大 産科研) ,  黒田隆之助 (産業技術総合研) ,  坂上和之 (早稲田大 理工研) ,  濱義昌 (早稲田大 理工研) ,  増田明彦 (早稲田大 理工研) ,  鷲尾方一 (早稲田大 理工研)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 50th  ページ： 127-128  発行年： 2007年10月10日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 光電陰極 ,...

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分類 (2件)： 放射線高分子化学  (CG03050S) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 軟X線顕微鏡 ,  開発 ,  化学 ,  増幅 ,  フォトレジスト ,  評価