文献

J-GLOBAL ID：200902288337401762   整理番号：03A0311019

表面ゾル-ゲル法による酸化物超薄膜の作成とその誘電特性

著者 (2件)： 青木芳尚 (理研) ,  国武豊喜 (理研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 50th  号： 2  ページ： 898  発行年： 2003年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *誘電体薄膜 ,...
準シソーラス用語： 表面ゾル-ゲル法

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0311019&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0054A") }}

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  誘電体一般  (BM05010F)

タイトルに関連する用語 (4件)： ゾル-ゲル法 ,  酸化物 ,  超薄膜 ,  誘電特性