文献

J-GLOBAL ID：200902290334895432   整理番号：09A1005786

Pt/C多層膜集光ミラーによる硬X線Sub-10nm集光

著者 (10件)： 半田宗一郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  木村隆志 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山川大輔 (大阪大 大学院工学研究科) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  三村秀和 (大阪大 大学院工学研究科) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2009  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C07  発行年： 2009年08月25日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々はこれまで独自の楕円形状集光ミラーの表面加工・計測法の開発により,集光サイズ数十nmの硬X線ビーム形成に成功してきた。今回,グレーデッド多層膜形成装置の開発により,多層膜集光ミラーの作製が可能となった。これにより,大照射角・大NAのミラー設計が許容され,ナノ集光ミラーの作製が可能となった。SPring-8における作製したミラーの集光性能評価の結果,ピーク半値幅約8nmの1次元集光の達成が確認された。(著者抄録)

シソーラス用語： *集光器 ,  *集光 ,  *硬X線 ,  *鏡 ,  光学設計 ,  性能評価
準シソーラス用語： *集光ミラー

分類 (1件)： 太陽エネルギー利用機器  (QE05020H)

タイトルに関連する用語 (5件)： Pt ,  多層膜 ,  集光 ,  ミラー ,  硬X線