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J-GLOBAL ID：200902291142184423   整理番号：04A0726666

液相法による酸化物誘電体ナノ薄膜の作成

Preparation of an oxide dielectric nano thin film by liquid-phase method.
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著者 (2件)：
青木芳尚

青木芳尚 について

(理研)

理研 について

, 
国武豊喜

国武豊喜 について

(理研)

理研 について


資料名：
第2回ナノテクノロジー総合シンポジウム講演予稿集 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 平成16年

第2回ナノテクノロジー総合シンポジウム講演予稿集 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 平成16年 について


ページ： 230-231  発行年： 2004年 
JST資料番号： N20041771  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ゾル-ゲル法によるち密なHfO2超薄膜...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*絶縁材料

絶縁材料 について

,...
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分類 (3件)：
分類
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固体デバイス材料 
(NC03020K)

固体デバイス材料 について

,  セラミック・陶磁器の製造 
(YC03020V)

セラミック・陶磁器の製造 について

,  酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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液相

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酸化物

酸化物 について

, 
誘電体

誘電体 について

, 
ナノ薄膜

ナノ薄膜 について


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