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J-GLOBAL ID：200902297542268225   整理番号：07A0665669

水蒸気と水の混合噴流によるレジスト剥離・洗浄装置の開発

著者 (4件)： 真田俊之 (静岡大) ,  城田農 (産業技術総合研) ,  渡部正夫 (九大) ,  山瀬雅男 (アクアサイエンス)
資料名： 日本学術会議混相流シンポジウム講演資料集  (混相流シンポジウム講演資料集)
巻： 26th  ページ： 16-17  発行年： 2007年06月 
JST資料番号： L2172A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在のULSI製造の多くには酸やアルカリ等の危険な薬品が使用...

シソーラス用語： 水蒸気 ,...

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分類 (2件)： 集積回路一般  (NC03161C) ,  産業廃水処理  (SC03080D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水蒸気 ,  水 ,  噴流 ,  レジスト ,  洗浄装置 ,  開発