特許
J-GLOBAL ID:200903013137551390

III族窒化物の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 高橋 祥泰 ,  岩倉 民芳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-394213
公開番号(公開出願番号):特開2005-154193
出願日: 2003年11月25日
公開日(公表日): 2005年06月16日
要約:
【課題】III族窒化物を、低温、低圧において得ることができるIII族窒化物の製造方法を提供すること。【解決手段】一種類のIII族原料物質あるいは複数種類のIII族原料物質を混合したものと、アルカリ金属の窒化物とを、非酸素雰囲気中において反応させることによりIII族窒化物を得ることを特徴とするIII族窒化物の製造方法。上記III族原料物質は、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、又は酸化インジウムとすることが好ましい。上記非酸素雰囲気は、窒素、アルゴン、又はヘリウムの不活性ガスによって形成することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一種類のIII族原料物質あるいは複数種類のIII族原料物質を混合したものと、アルカリ金属の窒化物とを、非酸素雰囲気中において反応させることによりIII族窒化物を得ることを特徴とするIII族窒化物の製造方法。
IPC (3件):
C01B21/06 ,  C01F7/00 ,  C01G15/00
FI (3件):
C01B21/06 A ,  C01F7/00 Z ,  C01G15/00 Z
Fターム (7件):
4G076AA18 ,  4G076AA30 ,  4G076AB02 ,  4G076BA09 ,  4G076DA18 ,  4G076DA20 ,  4G076DA30
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
  • 特開昭62-256704
引用文献:
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