特許

J-GLOBAL ID：200903062206246759

非接触面粗さ評価方法および非接触面粗さ評価装置

発明者： 川西 哲也
出願人/特許権者： 郵政省通信総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267451
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081325
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】 表面の粗さを評価する試料の物性に強く依存することなく、一定条件を満たす誘電体の評価方法として汎用性が有り、確実性を持った表面粗さの評価を非接触で迅速に行うことができる表面粗さ評価方法を提供する。【解決手段】 誘電体である試料2にレーザ光源1から入射角θ0 でレーザを照射し、散乱ブリュースタ角ΘB1における散乱波を偏光ビームスプリッタ3で受け、S偏波成分を第1光検出器4で取得し、P偏波成分を第2光検出器5で取得し、第1,第2光検出器4,5から取得されたS偏波成分とP偏波成分の比をコンピュータ6が所定の評価基準データと照合して試料2の評価面の粗さの評価を行う。

請求項（抜粋）：

表面粗さ評価の試料である誘電体の評価面へS偏波およびP偏波を含む電磁波を照射した際に、その入射角θ0 と電磁波照射側媒質に対する誘電体の相対屈折率nに応じて、電磁波の照射側媒質における散乱ブリュースタ角ΘB1が、【数1】を満たす条件下で、散乱ブリュースタ角ΘB1において取得される散乱波のS偏波成分に対するP偏波成分の比に基づいて、評価面の粗さを評価することを特徴とする非接触表面粗さ評価方法。

IPC (6件)：

G01B 15/00 ,  G01B 11/30 102 ,  G01B 21/30 102 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/88 ,  G01N 13/10

FI (6件)：

G01B 15/00 Z ,  G01B 11/30 102 Z ,  G01B 21/30 102 ,  G01N 21/21 Z ,  G01N 21/88 H ,  G01N 37/00 H

Fターム (45件)：

2F065AA50 ,  2F065BB22 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065GG25 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL22 ,  2F065LL32 ,  2F065NN06 ,  2F065QQ26 ,  2F067AA46 ,  2F067BB00 ,  2F067BB26 ,  2F067BB27 ,  2F067EE10 ,  2F067HH01 ,  2F067KK07 ,  2F067LL02 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR04 ,  2F069AA57 ,  2F069BB40 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG08 ,  2F069GG58 ,  2F069HH30 ,  2F069NN00 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE05 ,  2G059GG01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭55-156841