特許

J-GLOBAL ID：200903086562739731

レーザー計測方法及び装置

発明者： 馬渡 和真
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-226161
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042713
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 深さ10μm以上の溝において、高精度、かつ、自動化が可能な位置合わせのための計測方法及びそれに用いられる装置を提供すること。【解決手段】 試料セルに設けた深さ10μm以上の溝にレーザー光を照射し、試料セル又はレーザー光を溝幅方向に移動させて、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の位置に関して、溝からのレーザー光の反射光又は透過光の強度分布を計測し、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の各位置における強度分布の計測値を演算処理し、得られた演算値に基づいて試料セル又はレーザー光の位置を所望の位置に移動させることからなるレーザー計測方法。

請求項（抜粋）：

試料セルに設けた深さ10μm以上の溝にレーザー光を照射し、試料セル又はレーザー光を溝幅方向に移動させて、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の位置に関して、溝からのレーザー光の反射光又は透過光の強度分布を計測し、試料セル又はレーザー光の溝幅方向の各位置における強度分布の計測値を演算処理し、得られた演算値に基づいて試料セル又はレーザー光の位置を所望の位置に移動させることからなるレーザー計測方法。

IPC (6件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/03 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/41 ,  G01N 25/16 ,  G01N 37/00 101

FI (6件)：

G01B 11/00 C ,  G01N 21/03 Z ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 25/16 C ,  G01N 37/00 101

Fターム (71件)：

2F065AA02 ,  2F065AA07 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065DD03 ,  2F065FF23 ,  2F065FF42 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ24 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL08 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065TT02 ,  2F065UU04 ,  2F065UU07 ,  2G040AA02 ,  2G040AB07 ,  2G040BA24 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G057AA01 ,  2G057AA02 ,  2G057AB04 ,  2G057AB06 ,  2G057AB07 ,  2G057AC01 ,  2G057BA03 ,  2G057BA05 ,  2G057BB01 ,  2G057BB06 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG04 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM10 ,  2G059NN01

引用特許：

審査官引用 (5件)

• キャピラリー電気泳動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-230655   出願人：株式会社島津製作所
• 特開昭62-142205
  
• 特開昭62-142205
  
• 特開昭62-127613
  
• 特開昭57-105832