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J-GLOBAL ID：201002269400436802   整理番号：10A1103744

ポリスチレン微小球の自己組織化配列を利用したマイクロパターニングと半導体微細加工への応用

著者 (3件)： 今井雄大 (北大 量集セ) ,  岡崎拓行 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 71st  ページ： ROMBUNNO.17A-P13-7  発行年： 2010年08月30日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ポリスチレン ,  *ミクロスフェア ,  *自己組織化 ,  配列 ,  *パターン形成 ,  *半導体 ,  *微細加工 ,  電気化学 ,  リソグラフィー ,  細孔 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  リン化インジウム ,  基板 ,  水 ,  混合液体 ,  移流 ,  フォトレジスト ,  緩衝液 ,  エッチング ,  フッ化水素酸 ,  *ミクロパターン形成
準シソーラス用語： フッ酸 ,  *マイクロパターニング ,  混合液 ,  滴下

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ポリスチレン ,  微小球 ,  自己組織化 ,  マイクロパターニング ,  微細加工 ,  応用