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J-GLOBAL ID：201002271826502866   整理番号：10A0518707

InP-pn接合基板へのポーラス構造作製と形状および位置の制御

著者 (3件)： 岡崎拓行 (北大 量集セ) ,  吉澤直樹 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会北海道支部・日本光学会北海道地区合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道地区講演予稿集)
巻： 45th-6th  ページ： 82  発行年： 2010年01月08日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *PN接合 ,  *リン化インジウム ,  半導体材料 ,  多孔性 ,  形状制御 ,  位置制御 ,  *多孔質体 ,  サーボ制御

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： InP ,  PN接合 ,  ポーラス構造 ,  作製