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J-GLOBAL ID：201002287744553520   整理番号：10A1071060

水蒸気・水混合噴流低環境負荷洗浄法によるドライエッチング残渣除去

著者 (5件)： 渡部正夫 (北大) ,  真田俊之 (静大) ,  益子岳史 (静大) ,  関映子 (アクアサイエンス) ,  林田充司 (アクアサイエンス)
資料名： 日本混相流学会年会講演会講演論文集
巻： 2010  ページ： 20-21  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： L4437A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *水蒸気 ,  *噴流 ,  混相流 ,  *洗浄 ,  ドライエッチング ,  フッ化アンモニウム ,  液滴 ,  フォトレジスト ,  剥離 ,  気液二相流

分類 (1件)： 不均質流  (BC02060J)

タイトルに関連する用語 (7件)： 水蒸気 ,  水 ,  噴流 ,  環境負荷 ,  洗浄 ,  ドライエッチング ,  残渣