特許

J-GLOBAL ID：201003086769468291

真空部品

発明者： 古谷 正裕 ,  田中 伸幸 ,  常磐井 守泰 ,  堀江 正明 ,  栗巣 普揮 ,  山本 節夫
出願人/特許権者： 財団法人電力中央研究所 ,  国立大学法人山口大学
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-311862
公開番号（公開出願番号）：特開2010-133531
出願日： 2008年12月08日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：

【課題】高硬度、高いすべり特性、低いガス放出特性という、超高真空下で使用される部品にとって有効な特性を併せ持ち、従来よりも高い耐久性を持つ真空フランジそして真空稼動部品などの真空部品を提供する。【解決手段】真空中の稼働部に用いられる真空部品であって、少なくとも表面層が炭素ドープ酸化チタン層からなると共に該炭素がTi-C結合の状態でドープされており且つ前記炭素ドープ酸化チタン層の炭素ドープ酸化チタン層のビッカース硬度を300以上とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

真空中の稼働部に用いられる真空部品であって、少なくとも表面層が炭素ドープ酸化チタン層からなると共に該炭素がTi-C結合の状態でドープされており且つ前記炭素ドープ酸化チタン層の炭素ドープ酸化チタン層のビッカース硬度が300以上であることを特徴とする真空部品。

IPC (3件)：

F16K 51/02 ,  F16J 15/08 ,  F16J 15/16

FI (3件)：

F16K51/02 A ,  F16J15/08 B ,  F16J15/16 Z

Fターム (11件)：

3H066AA01 ,  3H066BA38 ,  3J040EA01 ,  3J040EA18 ,  3J040FA02 ,  3J040HA21 ,  3J043AA01 ,  3J043AA17 ,  3J043BA01 ,  3J043CB20 ,  3J043FB11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 表示材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-055226   出願人：財団法人電力中央研究所