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J-GLOBAL ID：201102293868830007   整理番号：11A1680087

ポリスチレン微小球の自己組織化配列を利用した半導体マイクロパターニング技術

著者 (3件)： 今井雄大 (北大 量集セ) ,  岡崎拓行 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会北海道支部・日本光学会北海道地区合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道地区講演予稿集)
巻： 46th-7th  ページ： 31  発行年： 2011年01月07日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ミクロスフェア ,  ポリスチレン ,  自己組織化 ,  *パターン形成 ,  リン化インジウム ,  薄膜成長 ,  半導体材料 ,  *化合物半導体
準シソーラス用語： *微小球

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリスチレン ,  微小球 ,  自己組織化 ,  マイクロパターニング