特許
J-GLOBAL ID：201103053892473960
非接触面粗さ評価方法および非接触面粗さ評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267451
特許番号：特許第3010213号
出願日： 1998年09月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面粗さ評価の試料である誘電体の評価面へS偏波およびP偏波を含む電磁波を照射した際に、その入射角θ0 と電磁波照射側媒質に対する誘電体の相対屈折率nに応じて、電磁波の照射側媒質における散乱ブリュースタ角ΘB1が、;;数1::を満たす条件下で、散乱ブリュースタ角ΘB1において取得される散乱波のS偏波成分に対するP偏波成分の比に基づいて、評価面の粗さを評価することを特徴とする非接触表面粗さ評価方法。
IPC (4件)：
G01B 11/30 102
, G01B 15/00
, G01B 21/30 102
, G01N 21/88
G01B 11/30 102 Z
, G01B 15/00 Z
, G01B 21/30 102
, G01N 21/88 H
