特許

J-GLOBAL ID：201303003617403517

形状測定プローブ

発明者： 大森 整 ,  片平 和俊 ,  梅津 信二郎 ,  八須 洋輔 ,  成瀬 哲也 ,  平井 幸廣 ,  高橋 忠正 ,  福田 秀幸 ,  森 啓太郎
出願人/特許権者： 独立行政法人理化学研究所 ,  株式会社アドバンストシステムズジャパン
代理人 (3件)： 堀田 実 ,  仲宗根 康晴 ,  野村 俊博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-279397
公開番号（公開出願番号）：特開2010-107346
特許番号：特許第5209440号
出願日： 2008年10月30日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体と、 下端が被測定物の上面に接触する接触子と、該接触子から上方に鉛直に延びる円筒形の中間軸と、該中間軸の上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部とを有するスタイラスと、 前記プローブ本体の下端に取り付けられ、前記スタイラスを鉛直方向に移動可能に案内するスタイラスホルダと、 該スタイラスホルダの上面と前記鍔部の下面の間に挟持され、前記鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネと、 前記プローブ本体に取り付けられ、前記鍔部上面の変位を検出する位置検出センサと、を備えたことを特徴とする形状測定プローブ。

IPC (2件)：

G01B 5/012 ( 200 6.01) ,  G01B 21/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 5/012 ,  G01B 21/00 P